一根探針通常由三部分組成：

DG: 底座直徑（mm）

DS: 測桿直徑（mm）

ML: 有效長度（mm）

L :  總長度（mm）

DK: 測頭直徑（mm）

底座與螺紋

底座是螺紋和測桿之間的連接部分，蔡司把底座設(shè)計(jì)成能以最佳方式承受測桿引入的測力,。 根據(jù)所用測量系統(tǒng),，蔡司使用M2、M3和M5螺紋,。

測桿材質(zhì)

測桿和截面（硬度高于管材的固體材質(zhì)）的材質(zhì)對探針的剛性有很大影響,。對于標(biāo)準(zhǔn)探針，蔡司使用碳化物測桿作為參考對象,。

測針針頭

最常用測針的測頭是球形的,。
 

測針主要特性有：

測頭精度

測頭材質(zhì)

測頭重量

?測頭球形的精度

與理想球形的偏差通常以“等級”進(jìn)行標(biāo)注。 下列是常用等級：

               等級                                                                                                     最大偏差（μm ）                      

                  3                                                                                                            0,08                                   

                 10                                                                                                           0,25                                   

                 16                                                                                                           0,40                                   

                 20                                                                                                            0,50  

?測頭球形的精度

與理想球形的偏差通常以“等級”進(jìn)行標(biāo)注,。 下列是常用等級：

               等級                                                                                                     最大偏差（μm ）                      

                  3                                                                                                            0,08                                   

                 10                                                                                                           0,25                                   

                 16                                                                                                           0,40                                   

                 20                                                                                                                                                    0,50                                               

蔡司三坐標(biāo)使用等級5的測頭作為標(biāo)準(zhǔn)配置,，對于特殊要求，例如極高精度的圓度測量，也可提供等級3的測頭,。

 
?測頭材質(zhì)

下表列出了測頭最常用的幾種材質(zhì),，包括各自的主要應(yīng)用領(lǐng)域和限制。

材質(zhì)                                                                     應(yīng)用領(lǐng)域                                                                             DK(μm)   

紅寶石                        幾乎是所有應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng),。  連續(xù)掃描特定材質(zhì)時(shí)可能會出現(xiàn)磨損或工件材料吸附,。               0,12 - 12      

藍(lán)寶石                        特性與紅寶石一樣，但可以制作直徑更大的測頭,。                                        8 – 15      

氮化硅                        與紅寶石的用法相同,，但是掃描鋁件時(shí)工件材料的吸附會更少。                               1 – 12      

陶瓷（氧化鋁）      用于制作大直徑球形測頭,、盤形測針以掃描鑄鐵等粗糙表面。更可制作成半球形確保最優(yōu)重量,。              8 – 45     

氧化鋯                       與紅寶石相比較,，這種材質(zhì)更軟，主要用于手動(dòng)測量設(shè)備,。                                    1 – 10     

碳化鎢                       能夠用于制作特殊尺寸的球形測頭,，例如測量齒輪齒。 可針對測量定制,， 重量較大,。                  2 – 30     

鋼                              主要用于盤形測針。比碳化鎢軟,，但可制作更大直徑的測頭,。                                   30 – 100

鉆石                           世界上最硬的材質(zhì)，掃描時(shí)不磨損,、無材料吸附,。                                            1 , 3